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반도체 공부 기록
[반도체소자] 15. FinFET (2)
FinFET SCE를 개선하기 위해 Channel을 3면을 통해 제어하는 FinFET이 개발되었습니다. 하지만 FinFET에서 여전히 구조적/공정적인 이슈 때문에 문제가 남아있습니다. 이번 포스팅에서는 FinFET에서 발생하는 이슈에 대해서 알아보도록 하겠습니다. ♭ Corner effect FinFET의 Fin 모서리(Corner) 부분에 전기장이 집중되어 Threshold voltage 이하의 전압 영역에서 국부적으로 Turn-on이 발생하는 현상입니다. Corner effcet에 의한 국부적인 Turn-on은 Transfer curve에서 hump으로 나타납니다. Corner effect가 발생하는 경우 hump에 의한 영향으로 SS이 증가합니다. Corner effect를 해결하기 위해서 Fin ..
반도체소자
2023. 7. 13. 11:19