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반도체 공부 기록
[반도체소자] 13. Advanced MOSFET
Advanced MOSFET 소자 미세화에 따라 발생하는 SHE(Short channel effect)를 제어하기 위해서 SOI MOSFET과 같은 다양한 기술이 개발되었습니다. 이번 포스팅에서는 SHE를 효과적으로 제어하기 위한 다양한 기술에 대해서 알아보도록 하겠습니다. ♭ Ultra-thin body(UTB) Vgs = 0V, Vds = 0.7V 조건에서 Current density가 0 보다 큰 값을 가지는데, Vgs = 0V에서는 Channel이 형성되지 않았기 때문에 Currnet는 Leakage를 의미합니다. SOI MOSFET에서 Body의 두께(=실리콘 두께; Tsi)가 감소할수록 Body에서 Gate의 영향이 미치지 않은 영역이 감소하기 때문에 SHE가 감소됩니다. ♭ Double-Ga..
반도체소자
2023. 7. 5. 19:36