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반도체 공부 기록
[반도체소자] 14. FinFET (1)
FinFET FinFET은 SOI MOSFET과 마찬가지로 SHE(Short channel effect)를 개선하기 위해서 제안된 소자 구조입니다. FinFET의 Fin은 '상어 지느러미'라는 뜻으로 MOSFET의 채널을 Fin 형태로 만들고 Fin의 3면의 Gate으로 둘러 쌓은 형태를 가지는 FET입니다. Channel을 3면으로 제어하기 때문에 Gate controllability가 기존의 Planar MOSFET(2D MOSFET)에 비해 우수하여 SHE를 효과적으로 제어할 수 있습니다. 현재 개발되고 있는 MOSFET은 FinFET으로 기반으로 발전한 GAAFET입니다. FinFET은 Planar MOSFET보다 Gate controllability가 우수하여 SHE를 효과적으로 통제할 수 있습..
반도체소자
2023. 7. 11. 10:47